第265章 扶苏在现代继续深造,攻克光刻机核心技术(1/2)
黑色防弹越野车的轮胎在柏油路面上猛地一搓。
“吱——”
橡胶摩擦发出一声短促的尖叫,留下两道黑印。
车头一沉,拐进了一条毫无标识的地下通道。
坡度很陡。
车子一路往下开。
周围光线暗下来,只有墙壁上惨白的应急灯在飞速后退。
地下五十米。
国家最高级别的半导体绝密实验室。
越野车停稳。
特勤人员拉开车门。
扶苏拎着黑色的防爆公文包走下来。
他刚迈过门槛,身后传来沉闷的机械咬合声。
厚达半米的气密铅门轰然合拢。
把地面的所有杂音死死挡在外面。
实验室大得像个室内体育馆。
空气里飘着一股防静电地板特有的干涩胶皮味。
中央无菌舱外,围着十几个穿白大褂的人。
全是白发。
最年轻的看起来也有五十多岁了。
人群中间,是一台半拆解状态的国产光刻机样机。
体积庞大,像个臃肿的生铁柜子。
“又偏了。”
项目总师陈老捏着眉头。
声音里透着熬了几个通宵的沙哑。
他把手里的检测报告往实验台上一扔。
几页A4纸滑出去,掉在地上。
没人去捡。
“双工作台的同步率还是差了三微米。”
旁边一个戴厚底眼镜的研究员蹲下身,烦躁地抓了一把稀疏的头发。
“光源功率提不上来,折射镜面一跑偏,晶圆直接报废。”
他把一截断掉的铅笔丢进垃圾桶。
“十年了,这道坎过不去,咱们就得一直看洋人的脸色。”
陈老端起桌上的搪瓷缸。
手有点抖。
刚想喝口浓茶提神,水早就凉透了,水面上飘着一层浑浊的茶垢。
他干笑了一声,又把缸子放回原处。
“哒,哒。”
硬底皮鞋踩在地板上的声音从通道口传来。
陈老转过头。
扶苏穿着那身笔挺的少校常服,大步走了过来。
他没寒暄。
走到实验台前,直接把公文包放在桌上。
“吧嗒。”
金属锁扣弹开。
扶苏拿出一卷带着打印机余温的A4纸。
手腕一抖。
图纸在陈老面前的桌面上平平整整地铺开。
“看看这个。”
扶苏往后退了半步,声音平稳。
陈老愣了一下。
他凑近图纸。
第一眼看过去,他以为是年轻人搞的什么概念模型。
但看了两行公式,陈老不说话了。
他猛地把鼻梁上的老花镜往上推了推。
身子往前倾,脸几乎要贴在纸面上。
“这……这是EUV光源的架构图?”
陈老倒抽了一口凉气。
周围几个老院士听到动静,全都围了过来。
图纸上密密麻麻全是超前的物理公式。
极紫外反射镜面折射定律。
1纳米工艺节点下的底层光路架构。
没有一句废话,每一根线条都精准到了原子级别。
“这反射镜面的涂层结构……还能这么排布?”
戴厚底眼镜的研究员指着一个截面图,手指头直哆嗦。
“理论上完美抵消了热膨胀误差。”
他猛地抬起头。
“老天爷,这光源功率比西方现有的设备高了整整十倍!”
陈老死死抓着桌沿,指关节发白。
他盯着扶苏。
嗓子堵了半天,才挤出一句话。
“这东西,你哪来的?”
扶苏没回答。
他伸手敲了敲图纸旁边的一行标注。
“理论没问题,现在缺的是双工作台的同步算法。”
扶苏脱下少校常服的外套,随手搭在椅背上。
衣服没放稳,滑下了一半。
他没去管。
拉开一把椅子,扶苏直接坐在连接超算的控制台前。
“超算权限给我。”
陈老如梦初醒。
赶紧摸出一张红色的最高权限磁卡,在卡槽里刷了一下。
屏幕亮起,跳出复杂的代码框。
困扰华夏十年的双工作台同步难题。
本质上是一个庞大的非线性矩阵方程组。
微秒级的误差,都会导致光刻失败。
扶苏双手放上键盘。
指尖敲击按键的声音瞬间连成一片。
“劈里啪啦。”
代码像绿色的瀑布一样在屏幕上疯狂滚动。
老院士们站在他身后,大气都不敢喘。
他们看着那些不可思议的算法逻辑被一行行构建出来。
把原本冗长的运算步骤直接砍掉了一半。
用一种近乎蛮横却绝对精确的方式,强行锁死了双工作台的运动轨迹。
三个小时。
实验室里没人说话,只有干脆的键盘声。
陈老站得腿都麻了。
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